Nakon što student položi ovaj ispit, biće u mogućnosti da: 1. Klasifikuje elektronske materijale koji se koriste u mikro-elektromehaničkim sistemima, navede njihova svojstva, i detaljno objasni proces pripreme. 2. Klasifikuje mikro-elektronske tehnologije. 3. Detaljno objasni postupak mikro-obrade silicijuma u podlozi i na površini. 4. Upotrijebi različite tipove mikro-senzora (mehaničkih, magnetnih, optičkih, termičkih, radijacionih, biohemijskih). 5. Izvrši analizu senzora na bazi površinskih akustičnih talasa. 6. Upotrijebi različite tipove inteligentnih senzora. 7. Izvrši analizu različitih tipova senzorskih interfejsnih elektronskih kola i integriše ih u složenije sisteme.
Ime | Predavanja | Vježbe | Laboratorija |
---|